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看完本篇你就知道什么是RTP快速退火炉了

点击次数:635    发布时间:2021-07-23
  RTP快速退火炉近年来得到越来越广泛的应用。可用于硅及其他化合物材料离子注入后的退火,硅化物形成,欧姆接触制备以及快速氧化,快速氮化等方面。
 
  该设备具有很好的长时间工作稳定性以及快速升降温,慢速升降温功能,采用三回路闭环温度控制,精确的温度控制部件可适用于特殊工艺要求,工艺重复性高,也可用于铁电膜的制备以及各种半导体材料CVD的热处理。
 
  RTP快速退火炉主要用于:快速烧结、快速退火等工艺。具有:温度均匀、控制稳定等特点,触摸屏操作方式(设备小巧,节约空间)。
 
  快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了先进制造工艺,在管式炉的基础上自主研发而成。
 
  这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温!
 
  此款设备采用了成仪自主研发的智能AIO(All In One)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。
 
  成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。
 
  功能举例:样品加热到1000℃后,炉膛自动移开加热区,冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温,样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。
 
  然后炉膛移动到加热区继续加热,如此往复,往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。
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