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质量流量控制系统

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所属分类:系统设备
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操作便捷性:1、方便的气路快速连接口,简化了流量控制系统与其他设备的链接。2、配置有三种接口(宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口),方便组合多种连接方式。

质量流量控制系统产品概述:

一、操作便捷性:

1、方便的气路快速连接口,简化了流量控制系统与其他设备的链接。

2、配置有三种接口(宝塔式接口、双卡套式接口、KF接口),方便组合多种连接方式。

 

二、控制智能化:

采用数显流量显示仪,配合质量流量控制器,采集数据并控制流量。具有控制精度高,重复性好,响应速度快,稳定可靠等特点(气体质量流量控制器) 。

 

三、使用安全性:

1、采用单向阀技术,使气体流量在可控压力范围内控制,保证安全。

2、采用混气灌装置,使气体可以在充分混合后导入工作室内,确保不会泄漏。

 

四、周边拓展性:

1、该气体质量控制系统可配我公司生产的真空/气氛管式电炉及真空/气氛箱式电炉使用。

2、该气体流量控制系统可以与我公司生产的真空控制系统组合使用。

3、可为用户定制多路气路产品。

 

规格

产品型号

气路数量

流量控制方式

连接方式

流量计

流量范围

精度

响应时间

工作温度

工作压力

外形尺寸mm

重量

标准配件

质量流量

ZL-02H

两路

数显流量控制仪

双卡套接头

质量流量计

0-500sccm(标准毫升/分)氮气标定

±1%F.S

≤4sec

5-45℃

进气压力0.05-0.3Mpa

530x670x710

48kg

PUΦ6管/每路2米Φ4*15mm不锈钢衬管5个

ZL-03H

三路

ZL-04H

四路

 

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