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1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统

型    号:
所属分类:CVD系统
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产品用途:此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统产品概述:

产品用途:

此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔

电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

 

产品组成:

CVD系统配置:

1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区及双温区)。

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统。

3.内外双石英管,采用真空可通气氛双法兰特殊连接。

4.多路气体流量控制系统(质子流量控制器和浮子流量控制器)

5.真空系统(可选配中真空或高真空)     

 

产品特点:

产品独特性

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能,炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温。

5 双管真空密封法兰,反应气体可以在内外管之间发生反应,冷却气体可通过内管,从而使内管外壁温度降低。

 

系统名称

1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统

系统型号

CVD-12II6SH-3Z/G

CVD-12III9SH-3Z/G

极限温度

1200℃

加热区长度

610mm

940mm

恒温区长度

400mm

700mm

温区

双温区

三温区

石英管管径

内管:Φ80mm   外管:Φ100mm

额定功率

4.8Kw

7.2Kw

额定电压

220V

380V(三相)

滑动距离

485mm

650mm

滑动方式

手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动,当程序完成,炉子按设定的速度滑动)

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温;

控制精度

±1℃

炉管极限工作温度

<1200℃

双管法兰连接

采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能,并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术,在密封法兰与管外壁间形成了密封,在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效,该密封法兰的安装只需在首次使用设备的时候安装

气体控制方式

质量流量计

气路数量

3路(可根据具体需要选配气路数量)

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

精度

±1%F.S

响应时间

≤4sec

工作温度

5-45℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真空

系统真空范围

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理论极限真空度
5x10-6Pa抽气速率1600L/S
额定电压220V 功率2Kw

炉体外形尺寸

480×770×605mm

410×1100×605mm

系统外形尺寸

530×1440×750mm(不含高真空)

系统总重量

340Kg

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