网站首页 产品系列 CVD设备/PECVD系统 PECVD系统 预加热滑动PECVD系统_1200℃_实验炉
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更新时间：2026-09-14
厂商性质：生产厂家
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预加热滑动PECVD系统_1200℃_实验炉，PECVD系统是一种 Plasma 增强 CVD系统(PECVD)，在传统 CVD系统的前端加入RF 射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，利用等离子体的活性来促进反应，降低气相沉积反应温度，沉积速度快，成膜质量好。包含加热系统、控温系统、射频电源、滑动装置、质量气体流量控制、真空控制系统、预加热系统等模块，根据工艺要求多模块自由组合，并可扩展升级配置，节约成本。适用于Plasma增强化学气相沉积工艺。
PECVD系统-产品用途:
PECVD系统可以用于二维材料制备、石墨烯生长、TMDs材料制备、二硫化钼、薄膜材料制备、氧化物薄膜、碳化物薄膜、氮化物薄膜、金刚石薄膜、金属涂层、碳纳米管生长、Zn0纳米结构生长、新晶体材料、陶瓷纤维、陶瓷电容气氛烧结、非晶态合金、粉体材料气氛烧结、等离子表面改性等离子聚合、等离子清洗等
预加热PECVD系统配置:
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.手动、电动滑动系统
3.预加热开启式管式电炉
4.等离子射频电源
5.多路质量流量控制系统
6.真空控制系统(可选配中真空或高真空)
产品特点：
生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。
产品参数：预加热滑动PECVD系统_1200℃_实验炉
系统名称 | 1200℃(含滑动式)单/多温区PECVD系统 | |||
系统型号 | PECVD-12IH-500A | PECVD-12II-3Z/G | PECVD-12IIH-3Z/G | PECVD-Y12IIH-3Z/G |
最高温度 | 1200℃ | |||
加热区长度 | 200mm | 420mm | ||
恒温区长度 | 70mm | 200mm | ||
温区 | 单温区 | 双温区 | ||
石英管管径 | Φ50/Φ60/Φ80/Φ100mm | |||
额定功率 | 1.2Kw | 3.2Kw | 6.2Kw | |
额定电压 | 220V | |||
滑动距离 | 200mm | 380mm | ||
滑动方式 | 手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动。当程序完成，炉子按设定的速度滑动) | |||
温度控制 | 国产程序控温系统50段程序控温 | |||
控制精度 | ±1℃ | |||
炉管最高工作温度 | <1200℃ | |||
气路法兰 | 采用多环密封技术卡箍快速连接 | |||
排风冷却装置 | 先进的空气隔热技术，结合热感应技术，当炉体表面温升到50℃时，排温风扇将自动启动，使炉体表面快速降温 | |||
气体控制方式 | 质量流量计(按键式) | |||
气路数量 | 1～3路(可根据具体需要选配气路数量) | |||
流量范围 | 0-500sccm(标准毫升/分，可选配)氮气标定 | |||
精度 | ±1%F.S | |||
响应时间 | 1sec | |||
工作温度(流量计) | 5-45℃ | |||
工作压力 | 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力) | |||
进气方式 | 采用防倒流设计 | |||
规格 | 中真空 | 高真空 | ||
系统真空范围 | 1-1000Pa(可选配其它量程) | 10-1x10-3Pa | ||
真空泵 | 双极机械泵理论极限真空度3x10-1Pa,抽泣速率4L/S (选配：其它抽速真空泵),出气口配有油雾过滤器， 额定电压220V,功率0.55Kw | 真空分子泵理论极限真空度真空分子泵理论极限真空度 5x10-Pa,抽泣速率1200L/S(选配：5x10-6Pa,抽泣速率1600L/S(选配： 其它抽速真空泵),出气口配有油雾 其它抽速真空泵),出气口配有油雾 过滤器，额定电压220V,功率2Kw 过滤器，额定电压220V,功率2Kw | ||
信号频率 | 13.56MHz±0.005% | |||
功率输出范围 | 0-100W | 1-500W | ||
最大反射功率 | ≤1% | |||
工作功率 | ≤70W | ≤350W | ||
射频输出接口 | 50Ω,N-type,temale | |||
功率稳定度 | ±0.1% | |||
谐波分量 | ≤-50dbc | |||
供电电压 | 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ | |||
冷却方式 | 风冷 | |||
整机功率 | ≤70% | |||
屏幕显示 | 正方向功率，匹配器电容位置，偏置电压值 | |||
系统外形尺寸 | 530×1440×750mm | 530×1440×750mm 530×1740×750mm | ||
系统总重量 | 230Kg | 230Kg | 290Kg | 330Kg |
