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石墨烯系统

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所属分类:石墨烯制备系统
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公司主营快速退火炉 马佛炉管式电阻炉/热处理电阻炉/高温箱式电阻炉中环电阻炉/干燥箱/恒温干燥箱/鼓风干燥箱/电热鼓风干燥箱/真空干燥箱/远红外干燥箱/湿热实验箱/高温电热鼓风干燥箱/大型电热鼓风干燥箱/水箱/电热水箱/恒温水箱/电热恒温水箱/万用电炉/封闭万用电炉/封闭电炉/CVD炉/cvd电炉/rtp炉/快速退火炉/立式电炉/管炉/石磨希电炉/RTP/快速激活炉/粉体电炉/快速热氧化炉

石墨烯系统产品概述:

1 石墨烯系统兼容、常压、微正压多种主流的生长模式
2 石墨烯系统可以在1000Pa-0.1Pa之间任意气压下进行石墨烯的生长
3 使用计算机控制,可以设置多种生长参数
4 可以制备高质量,大面积石墨烯等碳材料,尺寸可达数厘米,研究动力学过程
5 沉积效率高;薄膜的成分精确可控,配比范围大;厚度范围广,由几百埃至数毫米,可以实现厚膜沉积且能大量生产

产品用途:

产品专业性:

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。
产品组成:
PECVD系统配置:
1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(可选配中真空或高真空)  

产品特点:

生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。
 

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