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多工位管式炉的结构性能
发布时间:点击次数:1189 发布时间:2016-08-22次
 多工位管式炉产品系周期作业,供企业实验室,大专院校,科研院所等单位选用,设备为用户提供具体真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体,纳米技术,碳纤维等新材料新工艺领域薄膜沉积炉、气相沉积炉、纳米材料炉。

多工位管式炉的结构实用性;

1)加热炉膛有上下两部分组成,其中上部炉膛可整体向后翻转110°,方便取放、观察实验物料,炉膛材料采用的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采取高电阻合金丝0Cr27Al7Mo2。

2)密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。

3)两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。

4)先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。

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