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RTP快速退火炉

更新时间: 2019-11-20

访问次数: 4506

产品报价:

产品特点: RTP快速退火炉操作便捷,快速退火炉电热元件采用红外灯管,升温速度快,节省时间,滑动法兰使装卸样品过程简化,方便操作,可快速得到实验结果,取消了反复的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成的损坏。

RTP快速退火炉的详细资料:

RTP快速退火炉产品用途:

此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

RTP快速退火炉产品组成:

此款CVD系统配置:

1.1200度开启式真空管式炉(可选配单温区、双温区)。

2.多路质量流量控制系统

3.真空系统(可选配中真空或高真空)     

产品特点:

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵

 防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。

产品名称

RTP系列-滑动式快速退火炉

产品型号

RTP-G06123K-H

额定功率

9KW

额定电压

220AC 50/60Hz

极限温度

1000℃

连续工作

950℃(<1 小时)

加热区长度

250mm

恒温区长度

200mm

加热元件

红外灯管

温度控制

国产程序控温系统可编程50段程序控温;

控制精度

±1℃

石英管尺寸

Φ60/Φ80/Φ100mm

炉管材质

石英管

滑动距离

300mm

最大降温速度

900~200℃的降温速度:15min 

最快升温速度

50ºC/S

滑动控制

由温度控制器自动控制炉体移动.  当程序完成,炉体按设定的速度滑动。

流量计

浮子流量计60-600ml/min

滑轨尺寸

360 x1300x265mm

外形尺寸

360x385x595mm

重量

85Kg

标准配置

气路总成一套(含真空压力表)石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。


 

 

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