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  • 1200℃预加热滑动双温区PECVD系统
    时间:2024-05-09生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:21266

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

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  • RTP-小型快速退火炉
    时间:2024-05-09生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:6498

    产品应用:该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验 。

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  • 1200℃滑动式单温区/双温区/三温区CVD系统
    时间:2024-05-09生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:4830

    产品用途:此款CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结真空淬火退火,快速降温等工艺实验。

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  • 1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统
    时间:2024-05-09生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:5145

    产品用途:此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉实现快速加热和冷却。

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  • 1200℃集成型自动小型PECVD系统
    时间:2024-05-09生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:5010

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。集成型PECVD系统PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系统PECVD-12IH-4Z/G

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