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CVD管式炉在使用前要做好哪些准备工作？
更新时间：2022-06-13 点击次数：2628
CVD管式炉是一款在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的设备，广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
CVD管式炉的使用方法：
准备工作：
1、设计升降温曲线，升温速率不得高于10℃/分钟，降温速率应低于15℃/分钟。
2、清扫环境。
3、每周开始使用时，检查机械泵油线处于标线以上，拆除两端盖，用吸尘器清洁刚玉炉管。
4、将样品舟推入刚与管炉膛中部（恒温长度10cm）。
5、塞上两块隔热炉塞，使第二个炉塞的末端与炉体侧面平齐。
6、装上气炉法兰，确认密封垫落入槽中。
开炉：
1、开启总电源，风扇启动。
2、开面板电源（顺时针转动Lock旋钮），启动面板。
3、使仪表处于初始状态（即PV显示数值，SV闪烁显示Stop），此时若不处于该状态，则按向上键对仪表清零，使仪表只处在测显状态。
4、按向左键1秒，进入温度设定状态，通过按向左键移动光标，按向上键和向下键来调节温度的设定数值。
5、按回车键1秒，进入时间设定状态，通过按向左键移动光标，按向上键和向下键来调节时间的设定数值。
6、程序后一步为时间状态，数值为-121，以结束全部程序，按回车键确定。
7、按住向左键不放，然后按下回车键，则退出程序设置。
8、按向左键进入程序设定状态，再连续按回车键检查设定的程序是否符合预定的升降温曲线。
9、按住向左键不放，然后按回车键复位。
10、按回车键2秒，进入基本参数设置，连续按回车键检查基本参数（n5=389.7，p=15，t=10，ctrl=3，opl=28）。
11、按住向左键不放，然后按回车键，复位、
12、按回车键1秒，检查是否为STEP1，即程序从步开始执行。
13、按住向左键不放，然后按回车键，复位。
14、按向下键2秒，SV显示Run运行程序。
15、按绿色TurnOn键，启动加热电源，观察电流表、电压表：（若工作电流超过150A持续几秒钟，按下Turnoff键断开加热电源，检查功能参数的设定）。
16、在使用惰性气体做工作气体时，升温过程中严密注意压力表，如压力高于0.08MPa，立即打开出口阀放气。
17、在使用氢气做工作气体时，降温过程中要注意监视锥形瓶中出气的情况，如果有倒吸情况，应立即逆顺时针调节流量计旋钮，增加进气量。
18、操作者在升温、保温、降温过程中不得离开，如遇跳闸，要立即合闸供电。
